Дослідження типових джерел похибок при виготовленні растрових оптичних елементів лазерними записуючими системами з круговим скануванням
DOI:
https://doi.org/10.35681/1560-9189.2025.27.3.354561Ключові слова:
оптичні структури, лазерний запис, енкодер, оптичний елемент, підкладкаАнотація
Проведено аналіз і дослідження типових джерел похибок, які вини-
кають при виготовленні растрових оптичних елементів лазерними записуючими системами з круговим скануванням. Розглянуто особливос-ті розробки та побудови кругових лазерних записуючих систем. Запропоновано способи зменшення впливу похибок при записі растрових оптичних елементів на круговій лазерній записуючій системі.
Посилання
Goltsos W., Liu S. Polar coordinate laser writer for binary optics fabrication. Proc. SPIE. 1990. 1211. P.137-147. DOI: 10.1117/12.17934.
Hyug-Gyo Rhee. Direct Laser Lithography and Its Applications. IntechOpen, 2010. 19 р. DOI: 10.5772/8167.
Bernardeschi, M. Ilyas, L. Beccai. A Review on Active 3D Microstructures via Direct Laser Lithography. Advanced Intelligent Systems published by Wiley-VCH GmbH, 2021. 20 p. DOI: 10.1002/aisy.202100051.
Varapnickas S., Malinauskas M. Processes of Laser Direct Writing 3D Nanolithography. In book: Handbook of Laser Micro- and Nano-Engineering. Springer, Cham, 2020. pp.1-31. DOI: 10.1007/978-3-319-69537-2_32-1.
Zhenguo Bai, Jingsong Wei, Rui Wang. High-speed laser writing of arbitrary patterns in polar coordinate system. Review of Scientific Instruments. 2016. Vol. 87. P. 1-6. DOI: 10.1063/1.4973397.
Kiryanov A. Improving Synthesis Accuracy of Topology Elements in Laser Pattern Generators with Circular Scanning Mode. In book: Proceedings of the 5th International Conference on Industrial Engineering. 2020. P.497-506. DOI: 10.1007/978-3-030-22041-9_53.
Ogata S., Tada M., Yoneda M. Electron-beam writing system and its application to large and highdensity diffractive optic elements. Appl. Opt. 33, 1994. P.2032-2038. DOI: 10.1364/AO.33.002032.
Neugebauer G., Hauck R., Bryngdahl O. Computergenerated holograms: carrier of polar geometry. Appl. Opt. 24, N 6. 1985 P.777-784. DOI: 10.1364/AO.24.000777
Kosyak I.V., Tsubin O.A. Formuvannia radialnykh optychnykh struktur na kruhovii lazernii zapysuiuchii systemi. Reiestratsiia, zberihannia i obrob. danykh, 2024, T. 26, No 1, S. 3–8. DOI: 10.35681/1560-9189.2024.26.1.308326
Petrov V.V., Kriuchyn A.A., Beliak Ye.V., Manko D.Yu., Kosyak I.V., Melnyk O.H. Perevahy priamoho lazernoho zapysu dlia zbilshennia rozdilnoi zdatnosti protsesu vyhotovlennia dyfraktsiinykh optychnykh elementiv. Fizyka i khimiia tverdoho tila, T. 25, No 3, 2024, S. 587–594. DOI: 10.15330/pcss.25.3.587-594.
Vysokoshvydkisnyi interferometr na osnovi zapamiatovuiuchoho prystroiu: pat. 106553 Ukraina. No a201304496, zaiavl. 10.04.2013; opubl. 10.09.2014. Biul. No 17. 6 p.
