Дослідження типових джерел похибок при виготовленні растрових оптичних елементів лазерними записуючими системами з круговим скануванням
DOI:
https://doi.org/10.35681/1560-9189.2025.27.3.354561Ключові слова:
оптичні структури, лазерний запис, енкодер, оптичний елемент, підкладкаАнотація
Проведено аналіз і дослідження типових джерел похибок, які вини-
кають при виготовленні растрових оптичних елементів лазерними записуючими системами з круговим скануванням. Розглянуто особливос-ті розробки та побудови кругових лазерних записуючих систем. Запропоновано способи зменшення впливу похибок при записі растрових оптичних елементів на круговій лазерній записуючій системі.
Посилання
Goltsos W., Liu S. Polar coordinate laser writer for binary optics fabrication. Proc. SPIE. 1990. 1211. pp. 137–147. https://doi.org/10.1117/12.17934
Rhee Hyug-Gyo. Direct Laser Lithography and Its Applications. In: Lithography. IntechOpen, 2010. 19 p. https://doi.org/10.5772/8167
Bernardeschi I., Ilyas M., Beccai L. A Review on Active 3D Microstructures via Direct Laser Lithography. Advanced Intelligent Systems. 2021. 20 p. https://doi.org/10.1002/aisy.202100051
Varapnickas S., Malinauskas M. Processes of Laser Direct Writing 3D Nanolithography. In book: Handbook of Laser Micro- and Nano-Engineering. Springer, Cham, 2020. pp. 1–31. https://doi.org/10.1007/978-3-319-69537-2_32-1
Bai Zhenguo, Wei Jingsong, Wang Rui. High-speed laser writing of arbitrary patterns in polar coordinate system. Review of Scientific Instruments. 2016. Vol. 87. pp. 1–6. https://doi.org/10.1063/1.4973397
Kiryanov A. Improving Synthesis Accuracy of Topology Elements in Laser Pattern Generators with Circular Scanning Mode. In book: Proceedings of the 5th International Conference on Industrial Engineering. 2020. pp. 497–506. https://doi.org/10.1007/978-3-030-22041-9_53
Ogata S., Tada M., Yoneda M. Electron-beam writing system and its application to large and high-density diffractive optic elements. Applied Optics. 1994. Vol. 33, No. 10. pp. 2032–2038. https://doi.org/10.1364/AO.33.002032
Neugebauer G., Hauck R., Bryngdahl O. Computer-generated holograms: carrier of polar geometry. Applied Optics. 1985. Vol. 24, No. 6. pp. 777–784. https://doi.org/10.1364/AO.24.000777
Kosyak I.V., Tsubin O.A. Formuvannia radialnykh optychnykh struktur na kruhovii lazernii zapysuiuchii systemi. Reiestratsiia, zberihannia i obrobka danykh. 2024. V. 26, No. 1. pp. 3–8. https://doi.org/10.35681/1560-9189.2024.26.1.308326
Petrov V.V., Kriuchyn A.A., Beliak Ye.V., Manko D.Yu., Kosyak I.V., Melnyk O.H. Perevahy priamoho lazernoho zapysu dlia zbilshennia rozdilnoi zdatnosti protsesu vyhotovlennia dyfraktsiinykh optychnykh elementiv. Fizyka i khimiia tverdoho tila. 2024. V. 25, No. 3. pp. 587–594. https://doi.org/10.15330/pcss.25.3.587-594
Vysokoshvydkisnyi interferometr na osnovi zapamiatovuiuchoho prystroiu: pat. 106553 Ukraina. No. a201304496, zaiavl. 10.04.2013; opubl. 10.09.2014. Biul. No. 17. 6 p.
