Дослідження процесу формування мікрорельєфних структур у плівках хрому на основі методу хімічного травлення
DOI:
https://doi.org/10.35681/1560-9189.2021.23.1.235022Ключові слова:
мікрорельєфна структура, хімічне травлення, лазерний запис, сапфірові підкладки, математичне моделювання, плівка хрому, шар фоторезистуАнотація
Розглянуто сучасні підходи, які використовуються при формуванні мік-рорельєфних структур на поверхні високостабільних підкладок. Проведено аналіз технологічного процесу нанесення захисної маски на основі хрому при формуванні інформаційного шару оптичного диска з сапфіровою підкладкою. Представлено результати експериментальних досліджень формування мікророзмірних елементів у тонких плівках хрому. Визначено умови оптимізації процесу лазерного запису у середовищі маски фоторезисту, що застосовується при хімічному трав-ленні плівки хрому під час формування мікрорельєфної структури на поверхні сапфірової підкладки.
Посилання
Tay F.E.H., Iliescu C., Jing J., et al. Defect-free wet etching through pyrex glass using Cr/Au mask. Microsyst Technol. 12, 935–939 (2006). doi: 10.1007/s00542-006-0116-0
Williams K.R., Gupta K., and Wasilik M. Etch rates for micromachining processing.Part II. Journal of Microelectromechanical Systems. Dec. 2003. Vol. 12, No. 6, P. 761–778. doi: 10.1109 /JMEMS. 2003.820936
Pat. USA 6139716, C25F3/12A. M. McCarthy, R.J. Contolini, V. Liberman, J. Morse U. Submicron patterned metal hole etching.05.18.1999.
Method of aberration compensation in sapphire optical discs for the long term data storage / V.V. Petrov, V.P. Semynozhenko, V.M. Puzikov, A.A. Kryuchyn, A.S. Lapchuk, Ye.M. Morozov, Y.O. Borodin, O.V. Shyhovets, S.M. Shanoylo. Functional Materials. 2014. Vol. 21, No. 1. P. 105–111.
Korolkov V.P., Gurin N.A., Nikanorov N.Ju. Zapis amplitudnyh fotoshablonov i uglovyh shkal po fotorezistu na krugovyh lazernyh zapisyvajushhih sistemah. Interjekspo Geo-Sibir. 2017. 5(1). P. 13–17.
Volkov A.V., Istinova O.G., Kazanskij N.L., Kostjuk G.F. Razrabotka i issledovanie metoda formirovanija mikrorelefa DOJe v sapfirovyh podlozhkah. Kompjuternaja optika 2002. No. 24. S. 70–73.
Volkov A.V., Moiseev O.Ju., Poletaev S.D. Vysokorazreshajushhaja lazernaja zapis kontaktnyh masok na pljonkah molibdena dlja izgotovlenija jelementov difrakcionnoj optiki. Kompjuternaja optika. 2013. 37(2). P. 220–225.
Ratushnyj V.P., Koreshev S.N., Belyh A.V., Dubrovina T.G. Sposob formirovanija topologicheskogo izobrazhenija v plenke hroma Patent Rossii № 2442239 МПК.H01L 21/027. Retrieved from https://findpatent.ru/patent/244/2442239.html
Chromium etchant 651826. (n.d.). Retrieved January 05, 2021. URL: https://www.sigmaaldrich.com/catalog/product/aldrich/651826?lang=en.
Kryuchyn A.A., Petrov V.V., Shanoilo S.M., Lapchuk A.S., & Morozov Y.M. (2014). Sapphire optical discs for long term data storage. Optical Data Storage. 2014. doi:10.1117/12.2060786
Gorbov I.V., Manko D.Yu., Kryuchyn A.A., Zichun Le, Minglei Fu, Pankratova A.V. Optical disk for long-term data Storage basend on chromium film. Metal Physics and Advansed Technologie. 2016. Vol. 38, No. 2. P. 267–272. doi: 10.15407/mfint.38.02.0267
