DOI: https://doi.org/10.35681/1560-9189.2012.14.3.105215

Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

A. A. Kryuchyn, V. M. Rubish, S. O. Kostiukevych, V. I. Minko, P. E. Shepelyavy, V. O. Lysyuk, K. V. Kostyukevych, M. A. Surmach

Анотація


Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менше діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах. Іл.: 3. Бібліогр.: 21 найм.

Ключові слова


термолітографія; неорганічні фоторезисти; нелінійна експозиційна характеристика

Повний текст:

PDF