Реєструвальні матеріали для лазерної термолітографії

Автор(и)

  • A. A. Kryuchyn
  • V. M. Rubish
  • S. O. Kostiukevych
  • V. I. Minko
  • P. E. Shepelyavy
  • V. O. Lysyuk
  • K. V. Kostyukevych
  • M. A. Surmach

DOI:

https://doi.org/10.35681/1560-9189.2012.14.3.105215

Ключові слова:

термолітографія, неорганічні фоторезисти, нелінійна експозиційна характеристика

Анотація

Представлено результати аналізу властивостей фоточутливих матеріалів з нелінійною експозиційною характеристикою. Показано, що існує низка фото(термо)чутливих матеріалів, що дозволяють реєструвати зображення, розміри елементів яких менше діаметра експонуючого променя. Представлено результати лазерного запису на неорганічних фоторезистах. Іл.: 3. Бібліогр.: 21 найм.

##submission.downloads##

Опубліковано

2012-07-18

Номер

Том 14 № 3 (2012)

Розділ

Фізичні основи, принципи та методи реєстрації даних