DOI: https://doi.org/10.35681/1560-9189.2014.16.2.100252

Дослідження аморфних халькогенідних матеріалів елементів пам’яті на основі фазових переходів

V. K. Kyrylenko, V. M. Marjan, M. O. Durkot, V. M. Rubish

Анотація


Розроблено стенд, який дозволяє одночасно вимірювати температурні залежності електричного опору (R) та оптичного пропускання (в) плівок у ділянці температур 300-560 К. Досліджено температурні залежності R та в аморфних плівок системи сурма-селен. Показано, що їхня кристалізація супроводжується різким зменшенням цих параметрів. Температурний інтервал переходу плівок з аморфного стану в кристалічний залежить від складу плівок, матеріалу контактів та умов термообробки.

Ключові слова


аморфні плівки; фазові переходи; елементи пам’яті

Повний текст:

PDF

Посилання


Understanding the Phase-Change Mechanism of Rewritable Optical Media / A.V. Kolobov, P. Fons, A.I. Frenkel [et al.] // Nature Mater. — 2004. — Vol. 3. — P. 703–708.

Neorhanichna fotolitohrafiya / [Petrov V.V., Kryuchyn A.A., Kostyukevych S.O., Rubish V.M.]. — K.: IMF NANU, 2007. — 195 s.

Characteristics of Ga-Sb-Te Films for Phase-Change Memory / Cheng H.-Y., Kao K.-F., Lee C.-M., Chin T.-S. // IEEE Transactions on Magnetics. — 2007. — Vol. 43, N 2. — P. 927–929.

Temperature Influence on Electrical Properties of Sb-Te Phase-Change Material / F. Wang, Y. Zhang, Z. Song [et al.] // Jpn. J. Appl. Phys. — 2008. — Vol. 47, N 2. — P. 843–846.

Kozjuhin S.A. Perspektivy primenenija hal'kogenidnyh splavov v jelementah fazovoj pamjati / S.A. Kozjuhin, A.A. Sherchenkov // Prilozhenie k zhurnalu «Vestnik RGRTU», 2009. — No. 4. — 7 s.

Terao M. Electrical Phase-Change Memory: Fundamentals and State of the Art / M. Terao, T. Morikawa, T. Ohta // Jpn. J. Appl. Phys. — 2009. — Vol. 48. — P. 080001 (1–14).

Bogoslovskij N.A. Fizika jeffektov perekljuchenija i pamjati v hal'kogenidnyh stekloobraznyh poluprovodnikah / N.A. Bogoslovskij, K.D. Cjendin // FTP. — 2012. — T. 46, No. 5. — C. 577–608.

Thermal Properties of Phase-Change Material Ge2Sb2Te5 Doped with Bi / Sherchenkov A., Kozyuchin S., Babich A., Lazarenko P. // J. Non-Cryst. Solids. — 2013. — Vol. 377. — P. 26–29.

Kozyukhin S.A. Phase Separation in Chalcogenide Semiconductors of the Ge-Te System Upon Thermal Cycling / S.A. Kozyukhin, A.A. Sherchenkov, A.V. Babich // Izvestiya vysshikh uchebnykh zavedenii. Elektronika. — 2013. — Vol. 100, N 2. — P. 3–8.

Shvarc K.K. Opticheskie registrirujushhie sredy / K.K. Shvarc, V.I. Gotlib, Ja.Sh. Kristanson. — Riga, Zinatne, 1976. — 184 s.

Sb-Se-based Phase-Change Memory Device with Lower Power and Higher Speed Operations / S.-M. Yoon, N.-Y. Lee, S.-O Ryu [et al.] // IEEE Electron Device Letters. — 2006. — Vol. 27, N 6. — P. 445–447.

Fazovi peretvorennya v khal'kohenidnykh steklakh ta amorfnykh plivkakh Mar"yan V.M, Kozusenok O.V., Kyrylenko V.K. [ta in.] // Tez. dop. V Ukr. nauk. konf. z fizyky napivprovidnykiv (UNKFN-5). — Uzhhorod, 2011. — S. 257.

Temperaturni doslidzhennya amorfnykh plivok z efektom zminy fazy / Rubish V.M., Kyrylenko V.K., Durkot M.O. [ta in.] // Tez. dokl. IV Mezhdunar. nauch. konf. «Nanorazmernye sistemy: stroenie, svojstva, tehnologii (NANSIS – 2013)». — Kiev, Ukraina, 2013. — C. 408.

Doslidzhennya fazovykh perekhodiv «amorfna faza – krystalichna faza» v plivkakh systemy surma-selen rezystyvnym ta optychnym metodamy / Rubish V.M., Kyrylenko V.K., Mar"yan V.M. [ta in.] // Tez. dop. VI Ukr.nauk. konf. z fizyky napivprovidnykiv (UNKFN-6). — Chernivtsi, Ukrayina, 2013. — S. 563–564.

Chalcogenide Amorphous Materials with Phase Transitions / Maryan V.M., Kyrylenko V.K., Kozusenok A.V. [et al.]: mat. XIV Intern. Conf. «Physics and technology of thin films and nanosystems» (ICPTTFN-XIV). — Ivano-Frankivsk, Ukraine, 2013. — P. 319.

New Insights on the Сrystallization Рrocess in Ge15Sb85 Рhase-Сhange Мaterial: A Simultaneous Сalorimetric and Quick-EXAFS Мeasurement / P. Zalden, G. Aquilanti, O. Prestipino [et al.] // J. Non-Cryst. Solids. — 2013. — Vol. 377. — P. 30–33.

Crystallization Study of (As2S3)100-x(SbSI)x Аmorphous Films by Оptical Мethod / V.M. Rubish, O.V. Kozusenok, P.P. Shtets [et al.] // Semiconductor Physics, Quantum Electronics & Optoelectronics. — 2012. — Vol. 15, N 3. — P. 294–297.

Mekhanizm krystalizatsiyi amorfnykh plivok Sb2Se3 / O.V. Kozusenok, O.H. Horina, V.M. Mar"yan [ta in.] // Nauk. visnyk Uzhhorod. un-tu. Seriya Fizyka. — 2013. — No. 34. — S. 64–67.