DOI: https://doi.org/10.35681/1560-9189.2016.18.3.101219

Дифракційний контроль мікрорельєфу оптичних дисків

Е. Е. Антонов, А. В. Шиховец

Анотація


Досліджено дифракційні характеристики мікрорельєфу оптичних дисків з різним профілем пітів. Отримано калібрувальні криві дифракції для поляризованого лазерного випромінювання з метою визначення оптичних параметрів мікрорельєфу дисків. Розраховано дифракційні властивості багатошарових дискових структур, у тому числі з металізованими поверхнями.

Ключові слова


оптичний диск; дифракційний контроль; нахил стінок пітів; векторна модель дифракції; глибина мікрорельєфу; металізація дисків

Повний текст:

PDF