DOI: https://doi.org/10.35681/1560-9189.2016.18.3.101219

Дифракційний контроль мікрорельєфу оптичних дисків

E. E. Antonov, A. V. Shyhovets

Анотація


Досліджено дифракційні характеристики мікрорельєфу оптичних дисків з різним профілем пітів. Отримано калібрувальні криві дифракції для поляризованого лазерного випромінювання з метою визначення оптичних параметрів мікрорельєфу дисків. Розраховано дифракційні властивості багатошарових дискових структур, у тому числі з металізованими поверхнями.

Ключові слова


оптичний диск; дифракційний контроль; нахил стінок пітів; векторна модель дифракції; глибина мікрорельєфу; металізація дисків

Повний текст:

PDF

Посилання


Opticheskie diskovye sistemy / G. Bouh'juz, Dzh. Bratt, A. Hejser [i dr.]. — M.: Radio i svjaz', 1991. — 280 s.

Lenkova G.A. Osobennosti raspredelenija intensivnosti v difrakcionnom spektre amplitudno-fazovyh reshetok / G.A. Lenkova // Avtometrija. — 1992. — T. 5. — S. 14–26.

Koronkevich V.P. Difrakcionnyj metod kontrolja parametrov dorozhek formatirovannyh diskov / V.P. Koronkevich, G.A. Lenkova // Avtometrija. — 1992. — T. 5. — S. 3–13.

Goncharovskij A.V. Vvedenie v komp'juternuju optiku / A.V. Goncharovskij, V.V. Popov, V.V. Stepanov. — Izd-vo MGU, 1991. — 312 s.

Ataev V.A. Sistema difrakcionnogo kontrolja processa travlenija diska-originala / V.A. Ataev, V.G. Kravec // Reyestratsiya, zberihannya i obrob. danykh. — 2002. — T. 4, No 1. — S. 28–34.

Multilayer resonant subwavelength gratings: effects of waveguide modes and real groove profiles / L.I. Goray, I.G. Kuznetsov, S.Yu. Sadov, D.A. Content // J. Opt. Soc. Am A. — 2006. — Vol. 23(1). — P. 155–165.

Microprisms: optical parameters and monitoring / E.E. Antonov, A.A. Kryuchyn, Mingley Fu, [et al.]. — Kyiv: Akademperiodyka, 2015. — 146 р.

Automatic Mastering AM-200 / Toolex N.V., P.O. Box 7005, 5605 JA Eindhoven, The Netherlands.

Іnternet-resurs: http.: // www.RefractiveIndexes.INFO.

Method of aberration compensation in sapphire optical disks for the long term data storage / V.V. Petrov, V.P. Semynozhenko, V.M. Puzikov [et al.] // Functional Materials. — 2014. — Vol. 21(1). — Р. 105–111.