Формування радіальних оптичних структур на круговій лазерній записуючій системі
DOI:
https://doi.org/10.35681/1560-9189.2024.26.1.308326Ключові слова:
оптичні структури, лазерний запис, енкодер, фотолітографія, підкладкаАнотація
Проведено аналіз і дослідження систем для формування планарних оптичних елементів. Розглянуто особливості розробки та побудови кругових лазерних записуючих систем. Запропоновано реалізацію формування радіальних оптичних структур лазерною системою запису оптичних дисків.
Посилання
Hyug-Gyo Rhee. Direct Laser Lithography and Its Applications. IntechOpen, 2010. 19 р.
Lin B.J. Optical Lithography. SPIE Press, Bellingham, WA, 2009. 136 p.
I. Bernardeschi, M. Ilyas, L. Beccai. A Review on Active 3D Microstructures via Direct Laser Lithography. Advanced Intelligent Systems published by Wiley-VCH GmbH, 2021. 20 p.
Varapnickas S., Malinauskas M. Processes of Laser Direct Writing 3D Nanolithography. In book: Handbook of Laser Micro- and Nano-Engineering. Springer, Cham, 2020. Р. 1–31.
Kiryanov A.V., Vedernikov V.M., Kiryanov V.P., Kokarev S.A., Nikitin V.G. Forming high-precision angular measuring structures by the laser pattern generators with circular scanning. Measurement science review. 2006. Vol. 6, No. 1. P. 10–13.
Zhenguo Bai, Jingsong Wei, Rui Wang. High-speed laser writing of arbitrary patterns in polar coordinate system. Review of Scientific Instruments. 2016. Vol. 87. P. 1–6.
Kiryanov A. Improving Synthesis Accuracy of Topology Elements in Laser Pattern Generators with Circular Scanning Mode. In book: Proceedings of the 5th International Conference on Industrial Engineering. 2020. P. 497–506.
Syed Rizvi. Handbook of Photomask Manufacturing Technology. Taylor & Francis Group, 2005. 878 р.
Wayne M Moreau. Semiconductor lithography: principles, practices, and materials. New York : Plenum Press, 1988. 931 p.
Kosjak I.V. Sistema zapisi opticheskih diskov vysokoj plotnosti. Reyestratsiya, zberihannya i obrob. danykh. 2012. T. 14, No. 3. S. 12–19. https://doi.org/10.35681/1560-9189.2012.14.3.105216.
Kosyak I.V. Osoblyvosti pobudovy system zapysu optychnykh dyskiv vysokoyi shchil'nosti. Reyestratsiya, zberihannya i obrob. danykh. 2014. T. 16, No. 2. S. 87–99. https://doi.org/10.35681/1560-9189.2014.16.2.100259
Vysokoshvydkisnyy interferometr na osnovi zapamyatovuyuchoho prystroyu: pat. 106553 Ukrayina. No. 201304496, zayavl. 10.04.2013; opubl. 10.09.2014. Byul. No. 17. 6 s.
